求半導(dǎo)體晶圓熱處理，晶圓上不同位置間溫差最小的Matlab程序設(shè)計思路

ID:605969 · 發(fā)表于 2019-9-1 10:49

半導(dǎo)體晶圓熱處理溫控Matlab編程程序
半導(dǎo)體晶圓的熱處理、光刻工藝中的烘烤操作、針對烘烤操作的溫度控制器、PI反饋控制、控制器的反饋信號是烘烤板溫度、最終使晶圓上溫度分布穩(wěn)定并達(dá)到指定溫度、要求晶圓上不同位置間溫度差最小、Matlab編程、可編程多區(qū)域熱處理系統(tǒng)的狀態(tài)空間模型

ID:540100 · 發(fā)表于 2019-9-2 15:59

半導(dǎo)體晶圓熱處理，來錯片場了吧

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